德國(guó)卡爾蔡司掃描電子顯微鏡的工作原理-華普通用
蔡司掃描電子顯微鏡是一種把經(jīng)加速和聚集的電子束透射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度等相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏,膠片以及感光耦合組件)上顯示出來(lái)的顯微鏡。
蔡司掃描電子顯微鏡的工作原理是:透射電鏡和光學(xué)顯微鏡的各透鏡及光路圖基本一致,都是光源經(jīng)過(guò)聚光鏡會(huì)聚之后照到樣品,光束透過(guò)樣品后進(jìn)入物鏡,由物鏡會(huì)聚成像,之后物鏡所成的一次放大像在光鏡中再由物鏡二次放大后進(jìn)入觀察者的眼睛,而在電鏡中則是由中間鏡和投影鏡再進(jìn)行兩次接力放大后最終在熒光屏上形成投影供觀察者觀察。電鏡物鏡成像光路圖也和光學(xué)凸透鏡放大光路圖一致。
蔡司掃描電子顯微鏡具有分辨率高、可與其他技術(shù)聯(lián)用的優(yōu)點(diǎn)。材料的微觀結(jié)構(gòu)對(duì)材料的力學(xué)、光學(xué)、電學(xué)等物理化學(xué)性質(zhì)起著決定性作用。透射電鏡作為材料表征的重要手段,不僅可以用衍射模式來(lái)研究晶體的結(jié)構(gòu),還可以在成像模式下得到實(shí)空間的高分辨像,即對(duì)材料中的原子進(jìn)行直接成像,直接觀察材料的微觀結(jié)構(gòu)。在化學(xué)領(lǐng)域,原位透射電鏡因其超高的空間分辨率為原位觀察氣相、液相化學(xué)反應(yīng)提供了一種重要的方法。利用原位透射電子顯微鏡進(jìn)一步理解化學(xué)反應(yīng)的機(jī)理和納米材料的轉(zhuǎn)變過(guò)程,以期望從化學(xué)反應(yīng)的本質(zhì)理解、調(diào)控和設(shè)計(jì)材料的合成。